課荘芙曝

Proteus LRC

プロセス?ウィンドウにおけるフルチップの編^

Proteus LRC┘螢愁哀薀侫?ル`ル?チェックは、プロセス?ウィンドウにおけるホットスポットを互堀かつ互娼業に奮し、スケ`ラビリティにれたProteusパイプライン?テクノロジでフルチップのマスク編^を佩うシノプシスのポストOPC┨盻俊森a屎編^ツ`ルです。}のあるI囃をすばやく蒙協することで_kサイクルの壼豚にロバストな譜柴とOPC返隈をgFし、u夛フロ`の瘁垢殻でのデバイス絞嬾のリスクをXpします。Proteus LRCを旋喘することで、仟しいテクノロジの_k豚gが玉sされ、屡贋のフロ`でのi藻りが鯢呂靴泙后

リソグラフィ?プロセスが屡贋のツ`ル蛤の盾駭渊腓暴原くと、プロセス?ウィンドウにおけるばらつきが紗し、譜柴ノ`ドの裏晒に育ってS否される`餓が弌さくなるため、デバイス絞嬾がk伏しやすくなります。Proteus LRCは、プロセス?ウィンドウにおけるホットスポット、屈咾礼g侯とオ`バ`レイ、EPE、CDの崙囮にする互堀で淫凄議なチェックC嬬を戻工します。Proteus LRCの娼畜なチェックおよび盾裂C嬬により、譜柴をu夛垢殻に誘秘する念に捻壓議なi藻り詰和の圻咀をkし、マスクの壅譜柴にかかる返gとコストをpできます。

Proteus LRCは、プロセス?ウィンドウ鬉離┘薊`奮と楚b鬚韻離皀妊襪砲茲衾梼m來の互い淫凄議なプロセス編^ソリュ`ションを戻工し、匍順をリ`ドする互娼業をgFします。カスタマイズ來の互いインタ`フェイスは曳なき悲來を戻工し、ユ`ザ`はIPを筝せずに耕嗤のアルゴリズムを駻辰任ます。Proteusパイプライン?テクノロジに頼畠にy栽されたアプリケ`ションは糞弔x86コア?プロセッサで嘛し、t侭嗤コストを恷弌晒します。互業なエラ`盾裂C嬬は、盾裂Y惚の_JとI尖を紳糞弔撲个れたツ`ルを戻工します。

匍順をリ`ドする互娼業

Proteus OPCで聞喘されている楚b鬚韻離皀妊襪Proteus LRCでも聞喘できます。これらのモデルは、互娼業で嚠y辛嬬なモデルBのために麗尖の及匯圻尖に児づいています。これによりモデルの芦協來が_隠され、Y惚がモデル?キャリブレ`ション?デ`タの譴魍えた栽でも互娼業をgFします。レジスト侘彜とトポグラフィの唹をさらにに篇する駅勣がある栽は、Mzみ辛嬬なSentaurus Lithographyテクノロジにより、譜柴の嶷勣w侭において娼畜な及匯圻尖モデルを旋喘できます。 

互い悲罷來を隔ったプロセス?ウィンドウ鬉離┘薊`奮字嬬

Proteus LRCは、互業のフィ`ルドベ`スのモデルによるフルチップ?カバレッジを戻工します。

  • すべての砲没邯瀰堋椶離廛蹈札?ウィンドウ鬉離▲襯乾螢坤爐駻辰気譴討り、また譜柴の畠w侭のプロセス?ウィンドウにおけるワ`ストエラ`を奮することにより、y栽議なデ`タ盾裂がg佩されます。
  • 禽永意耕嗤のチェックは、マルチマスク?リソグラフィ?プロセス蒙嗤のプロセス?エラ`鬚韻没酳併されており、ロバストなチェック、否叟なインプリメンテ`ション、由栽された潤惚燕幣字嬬を戻工します。
  • Mzみ辛嬬なSentaurus Lithographyテクノロジにより、娼畜な及匯圻尖モデルによるレジスト侘彜とトポグラフィの唹の盾裂が辛嬬です。
  • OPCとProteus LRCは揖匯プラットフォ`ムにy栽されており、ツ`ルgの札Q來が隠たれます。
  • プログラム來の互いインタ`フェイスが互業な悲罷來を戻工し、エンドユ`ザ`は鏡徭のチェック字嬬とアルゴリズムを徭喇に怏みzむことができるため、ユ`ザ`の寄俳な鴛永を隠擦します。
  • 互來嬬の皆-晦庄岳鞄看とコンパクトな永姻看赫艶稼レジスト3禽モデルによる互業のフルチップ3禽ホットスポット奮
IC WorkBenchのProteusエラ`盾裂モジュ`ル(PEAM)

IC WorkBenchのProteusエラ`盾裂モジュ`ルPEAM