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CATS
マスクデ`タ?プレパレ`ションのテクノロジをリ`ド
CATS?は、IC、MEMS、TFT-LCD、TFH、フォトニクス、バイオチップなどのu瞳のパタ`ンの伏撹とu夛に聞喘する}jな譜柴デ`タを徨ビ`ムおよびレ`ザ`C匂鬚韻離泪轡黎Z凋綜にQする、來と悲來にれたソフトウェア?アプリケ`ションです。
遺粥意皆は、g嵎議に弊順嶄の畠てのフォトマスクu夛仏譜に擬秘されており、マスクu夛、法霞海、およびウェハ`への岷宙におけるデファクト?スタンダ`ドとなっています。&稼恢壊沿;
アプリケ`ション
- 児云、および互業な篁
遺粥意皆の篁算嬬は、？なマスク宙鮫字や忙の餓呟に育う仁籾に函り怏んでいます。
- 除俊森温屎
遺粥意皆は、窮徨ビ`ムや高の除俊森の温屎を戻工します。
- ジョブデックの荷恬
互來嬬で互業な三侏で、マスクおよびパタ`ンをサポ`トします。
- u夛ル`ル?チェック
窮徨ビ`ムとレ`ザ`の其高ツ`ルに紗え、あらゆる麼勣縫挑`ルをサポ`トする率匯のソフトウェア?パッケ`ジです。
- リソグラフィ竃薦オプション
マスクおよび岷宙のための淫凄議なデ`タ?プレパレ`ションのソリュ`ション
- 霞海マ`キング
ジョブデック秤鵑秘徨ビ`ム?パタ`ン?ファイル?デ`タを旋喘するCATS霞海マ`キング?オプションは、鏡徭のグラフィックとコマンドl嗤有h廠を戻工します。
- 縫禰`タ?プレパレ`ション
遺粥意皆は、謹嶽謹な窮徨ビ`ム其高廾崔と麼勣なフォトマスク没慰辰I圭をサポ`トする率匯の偏祁ソフトウェア?パッケ`ジです。
- 蛍柊I尖
遺粥意皆は、掲械にスケ`ラブルで継喘森の互いマスク?デ`タ?プレパレ`ションを戻工します。