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用于准确模拟器件结构形貌的工艺步骤

Sentaurus Topography 是一款高级仿真器，基于物理模型仿真淀积、蚀刻、旋涂式薄膜、回流和化学机械抛光等结构生成的工艺步骤。它凭借高级物理模型和数字算法，支持具备不同材质属性的复杂的多层工艺结构。此外，Sentaurus Topography 可通过仿真构建互联层的复杂步骤，也非常适合预测后端工艺中的结构形貌。

工艺开发工程师可利用 Sentaurus Topography 来优化现有工艺和开发新的工艺流程。在制造业，Sentaurus Topography 是一款重要的工具，可用于研究工艺偏差和波动的影响，以改善工艺能力和良率。

此外，Sentaurus Topography 与 Sentaurus Process 之间的接口能将前端工艺热过程与结构形貌仿真综合到同一个环境中。Sentaurus Topography 已完全整合到处于技术前沿的 TCAD 框架和虚拟工具——Sentaurus Workbench 中。