草榴社区

Proteus Workbench

用于 OPC 开发和优化的 Cockpit 工具

通过 Proteus WorkBench (PWB),草榴社区 提供了一个单一环境,可综合 ProGen 模型构建,Proteus OPC 流程生成及优化、版图浏览、编辑、验证及其他分辨率提高技术 (RET) 功能于一体。PWB 完美融合了易用性和高效率,因此建立可投入生产的光罩综合流程的周转时间较快。

优势

  • 通过自动化模型校准、调整和验证,节省工程时间
  • 为不匹配的全芯片 OPC 和 RET 性能优化流程参数
  • 高速版图浏览和光刻分析
  • 拥有无缝接口,可连接到 草榴社区 的计量工具箱 (Proteus Metrokit) 及严格的光刻工艺仿真套件 (Sentaurus Lithography)

PWB 提供一系列强大的工具,允许工程师更进一步提高基于 Proteus 的光罩综合流程的结果质量。只要轻点鼠标,所选应用的特定 GUI 元素即可载入,为特定工程任务提供定制的工作环境。高级用户可使用多个工具来解决更为复杂的问题。

PWB 完全可编程。用户可修改窗口、菜单和工具栏,也可添加他们自己的宏命令和脚本来扩展功能,将 PWB 转换为适用于个人 OPC 任务的独特环境。

下图展示了 PWB 中可用的各种不同模块,以及其他 草榴社区 产物的链接,这些产物极大地扩展了该工具的应用空间。

图 1:Proteus WorkBench - 模块结构

图 1: Proteus WorkBench - 模块结构